Dresden, 03. März 2026 – Mit dem GAS’BOT NANO erweitert SEMPA SYSTEMS seine bewährte GAS’BOT Familie um ein ultrakompaktes, vollautomatisiertes Gasversorgungssystem für die Halbleiterindustrie. Das neue System wurde speziell für High-Volume-Fabs entwickelt, in denen maximale Leistungsfähigkeit, höchste Sicherheit und eine effiziente Flächennutzung entscheidend sind.
Maximale Performance auf minimaler Stellfläche
Der GAS’BOT NANO ist ein platzsparendes, PLC-automatisiertes System zur Versorgung mit Bulk- und Spezialgasen und lässt sich dank seiner state of the art Abmessungen nahtlos in bestehende Sub-Fab-Umgebungen integrieren. Mit einer deutlich reduzierten Breite bietet das System eine höhere Gaslieferkapazität pro Quadratmeter Stellfläche als konventionelle Lösungen. Damit eignet sich der GAS’BOT NANO ideal sowohl für Greenfield-Projekte als auch für Retrofit-Installationen in bestehenden Fabriken mit begrenztem Platzangebot.
Ob Neubau oder Modernisierung: Der GAS’BOT NANO entspricht branchenüblichen Abmessungen, einschließlich der etablierten Leitungsführungen der Gasanschlüsse. Bestehende Systeme können dadurch schnell und ohne aufwendige infrastrukturelle Anpassungen ersetzt werden – ein entscheidender Vorteil für eng getaktete Produktionsumgebungen.
Intelligente Automation für höchste Verfügbarkeit und Sicherheit
Technologisch basiert das System auf einer modernen Siemens PLC-Plattform. Diese gewährleistet eine langfristige Zuverlässigkeit sowie flexible Anpassungsmöglichkeiten an unterschiedliche Fab-Anforderungen. Unterstützt werden zusätzlich andere gängige industrielle Kommunikationsprotokolle, wodurch eine einfache Integration in vorhandene Monitoring- und Leitsysteme möglich ist. Vordefinierte Routinen und ein übersichtliches HMI ermöglichen eine intuitive Bedienung, effizientes Alarmhandling und maximale Transparenz im Betrieb.
Besonderes Augenmerk wurde auf die Anlagenverfügbarkeit gelegt: Das optimierte Innenlayout verbessert die Zugänglichkeit aller relevanten Komponenten. Service- und Wartungsarbeiten können dadurch schneller durchgeführt werden, was Stillstandszeiten reduziert und die Gesamtanlageneffizienz steigert. Gleichzeitig bietet der GAS’BOT NANO eine Vielzahl von optionalen Ausstattungsmerkmalen, die es ermöglichen, das System exakt an die spezifischen technischen und budgetären Anforderungen anzupassen, unter anderem Gas-, Rauch- sowie UV-IR-Sensorik, Überdruckschutz und SEMI-S2-Konformität.
„Mit dem GAS’BOT NANO setzen wir neue Maßstäbe für kompakte Gasversorgungssysteme in der Halbleiterfertigung. Unsere Kunden stehen unter enormem Effizienzdruck – sowohl hinsichtlich Flächennutzung als auch Verfügbarkeit und Sicherheit. Der GAS’BOT NANO vereint genau diese Anforderungen in einer zukunftsorientierten Lösung und stärkt unsere Position als Innovationspartner für moderne Fab-Infrastrukturen“, erklärt Dr. Jörg Koch, Geschäftsführer der SEMPA SYSTEMS GmbH. „Gleichzeitig haben wir als Unternehmen im vergangenen Jahr unsere Produktionsfläche und unsere Fertigungskapazitäten verdoppelt. Damit sind wir bestens aufgestellt, um auch große internationale Fab-Projekte zuverlässig und in den erforderlichen Stückzahlen zu bedienen“, ergänzt Koch seine Ausführungen.
Antwort auf wachsende Investitionen in europäische Fab-Kapazitäten
Die Einführung des GAS’BOT NANO erfolgt in einem Marktumfeld, das durch steigende Investitionen in europäische Halbleiterkapazitäten geprägt ist. Neue Produktionsstandorte sowie die Modernisierung bestehender Fabs erfordern flexible, skalierbare und hochsichere Versorgungslösungen. Mit der GAS’BOT Familie – bestehend aus den Varianten NANO, SMART, PRO und EXPERT – bietet SEMPA SYSTEMS ein modulares Portfolio für unterschiedliche Prozessanforderungen und Budgetrahmen.
Über SEMPA SYSTEMS GmbH:
Das Dresdner Unternehmen SEMPA SYSTEMS GmbH wurde im Jahr 2001 gegründet und hat sich seitdem als versierter Anbieter von Reinstmedien-Versorgungssystemen und Installationen, auch für sehr spezielle Anwendungen, etabliert. Kunden sind u.a. große Unternehmen der Halbleiter- und LED-Industrie sowie Vertreter der Photovoltaik und Pharma-Branche. Am Hauptsitz in Dresden und in den Niederlassungen in Hermsdorf (Thür.) und Marktl/Inn (Bay.) sind insgesamt 200 Mitarbeiter beschäftigt.
Seit dem 1. November 2021 gehört SEMPA zur weltweit tätigen Meptagon Group, einem multidisziplinären Unternehmen mit Niederlassungen in Irland, Mitteleuropa, Israel und Indien. Mit dem Zusammenschluss eröffnet sich für Kunden ein deutlich erweitertes Produktportfolio von High-End-Versorgungssystemen über modernste Planungs- und Ingenieursdienstleistungen bis hin zu multidisziplinären Fab-Infrastrukturlösungen.
Weitere Informationen unter www.sempa.de
Pressekontakt:
Jana Wich-Glasen
Marketing und PR
Phone: +49 351 88810 – 12
E-Mail: wglasen@sempa.de
GAS’BOT NANO: SEMPA SYSTEMS presents Ultra-Compact Gas Supply System for the Semiconductor Industry
Maximum Performance with a Minimal Footprint – Developed for High-Throughput Fabs
Dresden, March 3, 2026 – With the GAS’BOT NANO, SEMPA SYSTEMS expands its proven GAS’BOT family with an ultra-compact, fully automated gas supply system for the semiconductor industry. The new system has been specifically developed for high-volume fabs, where maximum performance, highest safety standards, and efficient use of space are critical.
Maximum Performance with a Minimal Footprint
The GAS’BOT NANO is a space-saving, PLC-automated system for the supply of bulk and specialty gases. Thanks to its state-of-the-art dimensions, it can be seamlessly integrated into existing sub-fab environments. With a significantly reduced width, the system provides higher gas delivery capacity per square meter of footprint compared to conventional solutions. This makes the GAS’BOT NANO ideal for both greenfield projects and retrofit installations in existing facilities with limited space.
Whether for new construction or modernization, the GAS’BOT NANO complies with industry-standard dimensions, including established gas connection routing. Existing systems can therefore be replaced quickly and without complex infrastructural modifications – a decisive advantage in tightly scheduled production environments.
Intelligent Automation for Maximum Availability and Safety
Technologically, the system is based on a modern Siemens PLC platform. This ensures long-term reliability as well as flexible adaptation to different fab requirements. Additional common industrial communication protocols are also supported, enabling easy integration into existing monitoring and control systems. Predefined routines and a clear HMI enable intuitive operation, efficient alarm handling, and maximum operational transparency.
Special emphasis has been placed on system availability: The optimized internal layout improves accessibility to all relevant components. Service and maintenance work can therefore be carried out more quickly, reducing downtime and increasing overall equipment efficiency. At the same time, the GAS’BOT NANO offers a wide range of optional features that allow the system to be tailored precisely to specific technical and budgetary requirements, including gas, smoke, and UV/IR sensors, overpressure protection, and SEMI S2 compliance.
“With the GAS’BOT NANO, we are setting new standards for compact gas supply systems in semiconductor manufacturing. Our customers are under enormous pressure to increase efficiency – both in terms of space utilization and availability and safety. The GAS’BOT NANO combines exactly these requirements in a forward-looking solution and strengthens our position as an innovation partner for modern fab infrastructures,” explains Dr. Jörg Koch, Managing Director of SEMPA SYSTEMS GmbH. “At the same time, over the past year we have doubled our production space and manufacturing capacities. This puts us in an excellent position to reliably support large international fab projects in the required volumes,” Koch adds.
Response to Growing Investments in European Fab Capacities
The launch of the GAS’BOT NANO takes place in a market environment characterized by increasing investments in European semiconductor capacities. New production sites as well as the modernization of existing fabs require flexible, scalable, and highly secure supply solutions. With the GAS’BOT family – consisting of the NANO, SMART, PRO, and EXPERT variants – SEMPA SYSTEMS offers a modular portfolio for a wide range of process requirements and budget frameworks.
About SEMPA SYSTEMS
SEMPA SYSTEMS GmbH was founded in 2001 and has established itself as a reputable supplier of highest-purity gas and chemical supply systems, also for very special applications. Customers include major companies in the semiconductor and LED industries as well as representatives of the photovoltaic and pharma sectors. The company employs 200 people at its headquarters in Dresden and the subsidiaries.
As of November 1, 2021, SEMPA is owned by the global Meptagon Group, a multidisciplinary engineering and construction company with a presence in Ireland, Central Europe, Israel and India. The merger of Meptagon and SEMPA creates synergies. The combination of high-end process equipment, state-of-the-art design and integration capabilities, and multidisciplinary construction services in various industries offers new development potential and thus the opportunity for greater product diversification.
Weitere Informationen unter www.sempa.de
Press Contact
Jana Wich-Glasen
Marketing & PR
SEMPA SYSTEMS GmbH
Phone: +49 351 88810 1072
Email: wglasen (hello@spam.com) sempa.de
+49 (0) 351-888 10 15 
