Referenzen

Europäische Halbleiterfabrik

• 2 Trailer Supply
• 4 Vessel Supply (500-1000l)
• 8 Bundle Supply
• 200 GAS‘BOT EXPERT
• 20 CHEM‘BOT EXPERT
• 10 SOLVENT‘BOT EXPERT
• > 300 VMB
• > 120 VMP
• 25 DVB

TMA/TMGa-System zur Abgabe großer Mengen

• Für ALD, CVD, MOCVD, MOVPE, EPI und andere Gasphasenprozesse
• Von kleinen Mengen bis zu großen Verbrauchsvolumina
• Breites Spektrum an Chemikalien, darunter kritische Chemikalien (TMA, TMGa, TCS, TDMAS)
• Branchen: Halbleiter, Photovoltaik, Chemie, Pharma, Batterien
• Referenzen in Europa und den USA mit starkem Schwerpunkt auf der Halbleiterindustrie

CHEM’BOT BULK – Versorgungssystem für die Großserienfertigung

• Hohe Verfügbarkeit durch zuverlässiges Systemdesign
• Effiziente Nutzung von Vorläuferchemikalien (Precursor)
• Sicherheit für anspruchsvolle Prozesse
• Automatisierte Abläufe für einen sicheren Betrieb
• Modularer Aufbau und Skalierbarkeit

PE-ALD: Kombiniertes Sprudler- und DLI-System

• Verteilerplatte für 8 Verdampferstäbe

Solarfabrik Deutschland

Fermentation

Projektgröße:             800.000,00 €
Dauer:                            ca. 6 Monate
Dokumentation:        100% Schweißnahtdokumentation mit
                                          Endoskopie
GMP / FDA:                   Konformer Aufbau
Besonderheit:            Vormontage am Standort Dresden mit FAT
                                           Zerlegen und Montage vor Ort

H₂Demo – Wasserstoff direkt aus Sonnenlicht

• Entwicklung und Fertigung eines hochautomatisierten Versorgungssystems im Rahmen des Forschungsprojekts H₂Demo
• Ausgelegt für die Versorgung eines neu entwickelten Hochdurchsatz-Epitaxiereaktors
• Automatisierte Bereitstellung von bis zu 23 verschiedenen Precursoren
• Anlagenabmessungen von über 5 m Länge, 1,3 m Breite und mehr als 2 m Höhe
• Integration von mehr als 60 Mass Flow Controllern und Pressure Controllern sowie über 100 pneumatischen Komponenten

ATOPLOT – Präzise Versorgung für Atomic-Layer 3D Printing

• Entwicklung und Fertigung der Gas- und Precursorversorgung für den ATOPLOT Nanofabricator
• Unterstützung eines hochpräzisen, lokalen ALD-Prozesses für die additive Fertigung auf Mikro- und Nanoskala
• Integration der SEMPA Versorgungstechnik in den im Forschungsprojekt aufgebauten und getesteten Prototypen
• Beitrag zur erfolgreichen Demonstration von Atomic Layer Additive Manufacturing (ALAM) mit verschiedenen Materialien und funktionalen Strukturen