VAPOR'BOT

Der VAPOR’BOT SOLID ist eine hochentwickelte Lösung zur zuverlässigen Verdampfung fester Precursoren für anspruchsvolle Halbleiterprozesse wie ALD, CVD und EPI. Er ermöglicht die präzise und reproduzierbare Erzeugung einer stabilen Gasphase aus Feststoffen und stellt damit eine zentrale Voraussetzung für gleichbleibende Prozessqualität und hohe Ausbeute dar.

Das System kombiniert Hochtemperaturbetrieb mit aktiver Druck- und Temperaturregelung, um auch Materialien mit niedriger Dampfdruckcharakteristik – wie z. B. MoO₂Cl₂ – stabil und kontrolliert bereitzustellen. Durch ein zweistufiges Heizkonzept sowie beheizte Ventile wird die Bildung von Kondensaten verhindert und eine gleichmäßige Prozessführung sichergestellt.

Ein integriertes Pumpensystem, präzise Druckregelung und umfangreiche Sensorik sorgen für konstanten Materialfluss und maximale Prozessstabilität. Gleichzeitig ermöglicht der VAPOR’BOT Solid eine sehr hohe Precursor-Ausnutzung, wodurch Betriebskosten deutlich reduziert werden.

Besonderes Augenmerk liegt auf Sicherheit und Zuverlässigkeit: Hochwertige, korrosionsbeständige Materialien, umfassende Überwachungssysteme sowie Funktionen wie Gasdetektion, Notabschaltung und mehrstufige Sicherheitskonzepte gewährleisten einen sicheren Betrieb; sowohl in F&E-Umgebungen als auch in der Serienfertigung.

Der VAPOR’BOT Solid macht die Verdampfung fester Precursoren zu einer stabilen, skalierbaren Prozessplattform und unterstützt damit den Übergang zu modernen, fluorfreien Materialien in der Halbleiterfertigung.